作者：范兆岩,崔大付,陈德勇,高晓童 单位：中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版：《Journal of Semiconductors》2003年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTX2003080170 DOC编号：DOCBDTX2003080179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 利用正反馈闭环谐振原理 ，采用偏置交流激振、一倍频拾振的方法 ，设计了闭环谐振电路和相应的数据采集电路 ，并对该电路进行了综合调试 .实验结果表明 ，该系统实现了该传感器频率信号的自动跟踪和信号转换 ，以及快速、准确采集压力数据的功能 ，采集频率范围为 30～ 10 0kHz ，频率采集精度为&#177； 1Hz，温度采集精度为 0 0 3℃ 。

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