作者:王涛,蒋亚东,黄春华 单位:中国仪器仪表学会 出版:《仪器仪表学报》2003年第S2期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYQXB2003S20800 DOC编号:DOCYQXB2003S20809 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 讨论了一种新型的基于空穴注入效应的电导型CuPc薄膜二氧化氮气体传感器,其器件结构为:采用溅射工艺的ITO(InO、ZnO)作下电极,真空蒸发CuPc薄膜作为敏感功能层,上电极为AL叉指电极。这种CuPc传感器与传统的AlO_3/CuPc/Al相比,电阻下降了3~4个数量级。同时讨论了该传感器的敏感特性。

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