作者：潘银松,温志渝,梁玉前,蒋子平 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2003年第Z1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2003Z11290 DOC编号：DOCBDTQ2003Z11299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 阐述了真空微电子压力传感器阵列的工作原理和工作波形。设计了一种供真空微电子压力传感器阵列器件使用的 12位A/D数据采集系统。系统采用微机为主控单元 ，地址发生和时序控制部分采用可编程逻辑器件 (CPLD)实现 ，提高了设计的灵活性 ，简化了电路板设计。利用该采集系统对压力传感器阵列进行了数据采集 ，最后给出了实验结果

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