作者：肖素艳,王东红,刘晓为,秦建勇 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2003年第Z1期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2003Z11270 DOC编号：DOCBDTQ2003Z11279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 分析了M Z型硅基ARROW压力传感器的结构设计参数 ，并用计算机软件ANSYS对如下参数进行有限元方法 (FEM )研究 ，模拟了硅弹性膜片应力分布 ，确定了弹性膜边缘是传感臂具有高灵敏度的理想位置 ，并据此计算出由光弹性效应引起传感臂相位变化及其与压力的之间线性关系

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