《高选择性常温NH_3传感器》PDF+DOC
作者:孔祥霞,孙良彦,平田光寿
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2003年第08期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2003080260
DOC编号:DOCCGQJ2003080269
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采用MEMS技术,如KOH腐蚀、光刻、溅射金属等技术,在硅片、玻璃等材料上制得平面式微传感器管芯,此结构具有微型化、低功耗、一致性好、适宜大批量生产的优点。敏感材料的采用不同于传统无机物,而是以苯胺为原料,合成高分子聚合物———聚苯胺,此敏感材料不需要加热源,其电阻在室温下与NH3浓度成一定函数关系,可以测得空气中较低含量的NH3。聚苯胺的另一个显著优点是高选择性,实验表明,高达1000×;10-6(气体体积分数)的H2,CH4,CO,C4H10,C2H5OH的灵敏度远低于50×;10-6(NH3气体体积分数)的灵敏度。
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