《用干涉测量法的位置传感器对驻波采样》PDF+DOC
作者:邵娴
单位:中国科学院安徽光学精密机械研究所
出版:《大气与环境光学学报》2003年第06期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGDJY2003060010
DOC编号:DOCGDJY2003060019
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由德国IImenau技术大学、Julich研究中心和Bre-men国际大学的科研人员共同研制的一种用于干涉测量法的位置传感器,它包含了腔内部分透明的光电探测器,这种探测器对腔内形成的驻波进行采样。腔的一端是由附着在位移被监控的物体上的腔镜组成。
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