作者：徐国强,冯国强 单位：中国测试技术研究院 出版：《中国测试》2003年第01期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSYCS2003010130 DOC编号：DOCSYCS2003010139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文主要介绍一种微机械测量子系统 ，它与控制、测试和带有闭合数字控制回路结构的测量仪器相关。它尤其适用于光滑位移量的测量。例如 ：象由压力和温度引起的物体变形量 ，或者在监测物体气密性时 ，探测由物体的几何尺寸变化引起的电荷量。它也可用来监测集成模块的防水性。如果再给子系统补充一些额外的触觉传感设备 ，它就可应用于机器人系统中。

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