作者：刘妤,温志渝,张流强,梁玉前,温中泉,李霞 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2003年第Z1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2003Z10850 DOC编号：DOCBDTQ2003Z10859 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 硅微电容式加速度传感器具有灵敏度高、噪音低、漂移小、功耗低、结构简单等优点 ，在军民两用市场中有着广泛的应用前景。本文针对自主开发设计的一种带折叠梁的二维叉指电容式硅微加速度传感器 ，采用力法求解了其主轴刚度 ，为进一步研究该二维微加速度传感器的动态响应特性提供了理论依据

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