作者：章安良,朱大中 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2003年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2003060030 DOC编号：DOCYDSG2003060039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 报道了一种在128&#176；Y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制新型的延迟线型声表面波质量传感器及测量系统。由于环境温度对声表面波质量传感器性能影响较大，因此采用新型的Y型双声路结构克服环境温度对传感器性能的影响。阐述了Y型双声路质量传感器器件的结构及设计、测试电路的原理，对实验结果作了分析讨论。测试结果表明：器件相对温度系数仅为11Hz/&#176；C左右，器件的质量沉积效应灵敏度为3.62GHz&#183；cm2/g，并且具有良好的线性度。

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