作者：彭韶华,周闵新,秦明,黄庆安 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2003年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2003120260 DOC编号：DOCCGQJ2003120269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对大气测量的气压计应用，根据接触电容式压力传感器的工作原理，优化设计了绝对压力传感器的圆形膜结构。通过有限元分析软件ANSYS进行了验证，最后讨论了这种结构的非线性度。

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