《压阻式硅基传感器的温度补偿方法研究》PDF+DOC
作者:郭涛,石云波,张文栋
单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
出版:《微纳电子技术》2003年第Z1期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTQ2003Z11440
DOC编号:DOCBDTQ2003Z11449
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介绍了压阻式传感器的温度补偿原理及补偿方法 ,详细阐述了硅压阻式加速度传感器 30 2 8的补偿方法 ,给出了实验数据。该补偿方法使用元器件少 ,补偿简单 ,具有很强的实用性
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