《硅基PCR生物芯片微型加热器及温度传感器的研究》PDF+DOC

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2. 《金属薄膜加热器的研究》PDF+DOC 采用射频溅射方法制备了Cr和Ni-Cr(Ni：80 % ，Cr ：2 0 % )金属薄膜 ，探讨了热处理温度和时间对Cr薄膜电阻温度系数和电阻率的影响。在一定直流电压条件下 ，Ni-Cr和Cr薄膜微型加热器的加热温度可达到 10...
3. 《微通道式PCR芯片温度的研究》PDF+DOC 微通道式PCR芯片是对DNA扩增的新方法，通过样品试剂在三个温区间的流动，实现对试剂中特定DNA片段的几何级数扩增。研究了一种新型微通道式PCR芯片，利用有限元技术，对芯片上热区的温度梯度和均匀性进行了计算，对影响PCR反应的三种温度因素作出了定量分析。另外，针对传感器和加热器的外形、放置以及加热区......
4. 《PCR生物芯片微反应腔的制作及其热分析》PDF+DOC 在PCR生物芯片的制作过程中 ，微反应腔制作是关键部分之一。本文利用硅基微机械加工工艺 ，分别采用湿法化学腐蚀、干法等离子体刻蚀及两者相结合的方法进行了微反应腔的制作。通过扫描电镜分析 ，证明干法和湿法腐蚀相结合的制作工艺能加工出较理想的微反应腔体。本文还利用ANSYS软件对微反应腔进行温度分布和热......
5. 《基于SPCE061A的PCR芯片温度控制系统的设计》PDF+DOC 文中设计了基于SPCE061A的PCR芯片温度控制系统。系统以集成在PCR芯片底面的铂薄膜电阻作为温度传感器和加热器；加热器采用双螺旋型结构，以提高PCR反应温度均匀性。在实时测量、PID控制中，为了提高测量精度，使用0.5 mA恒流源电路将温度信号转化为电压信号。实验结果表明：该系统的温度控制精度......
6. 《一种微腔型PCR集成芯片的设计及其热分析》PDF+DOC 设计了一种新型的硅微聚合酶链式反应(PCR)芯片。该芯片采用掺杂半导体作为加热电阻来提高加热效率，改善反应腔内的温度均匀性。集成在芯片底部的Pt温度传感器与微加热器组成温度控制单元，为PCR反应过程提供所需的三种特定温度。此外，为了便于温度校准，设计了敞开式的反应腔，其容积约1.78μL。采用集总参......
7. 《基于MEMS技术的PCR生物芯片的研究》PDF+DOC 聚合酶链式反应 (PCR)技术已在分子生物学、基因测序、医学诊断等方面得到广泛的应用。基于MEMS技术研制了微结构的集成PCR -DNA分子扩增生物芯片 ，芯片集成了加热子、温度传感器、反应室、进样通道等 ；还介绍了芯片的设计、制作、温度循环特性。...
8. 《测量流速流向的微型片式流量传感器》PDF+DOC 应用热传导率低的薄玻璃片为衬底研制成了两种微型热流量传感器，其中一种流量传感器可测流速和温度，而另一种传感器可测流速和方向。其制造工艺并不是简单地利用基片刻蚀技术，而是用溅射方法在玻璃衬底上沉积形成三个铂薄膜电阻，它们分别是微加热器、加热器温度控制器、温度传感器。这两种新型片式传感器能够很精确、灵敏......
9. 《集成型PCR芯片的研究》PDF+DOC PCR芯片的温度控制部分的搭构是决定整个PCR芯片性能、尺寸、集成性的重要组成部分。利用薄膜技术与MEMS技术，将热电材料依照珀尔帖模型排列组合制作于微结构PCR芯片的反应室底部，可实现对反应室升温及降温的操作，并可通过改变电流方向，方便实现两者的切换，制作出集成了DNA反应室、温度传感器以及热电材......
10. 《聚合酶链式反应微芯片系统用于微量生物样品的快速扩增检测》PDF+DOC 基于MEMS微加工技术设计和制作了一种集成微加热器和温度传感器的聚合酶链式反应(PCR)微芯片。PCR微芯片结构通过有限元模拟验证分析。该芯片在PCR扩增过程中具有良好的制热效率和热传递均匀性。在微型温度控制电路装置下进行热循环反应，芯片的温度起伏小于1℃/s，升降温速度分别达到5℃/s和3℃/s，......