作者：洪连进,张揽月 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2003年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2003040020 DOC编号：DOCYBJS2003040029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了用静电力激振法确定电容式加速度传感器的动态特性 ，并分析了其静电力的非线性、频率误差及补偿传感器本身寄生电容的方法。给出的静电振动台结构简单、经济实用 ，具有很宽的低频测量范围 (可达 1Hz)和较低的静电力非线性系数 ，输出端具有较高的信噪比 ，可广泛用于电容式传感器频率特性的测试及结构优化。本文给出了传感器在静电振动台上的测试结果。结果表明 ：传感器可动系统的几何参数直接影响频率特性曲线 ，随着传感器平均空气间隙的减小 ，可动系统的阻尼比增加

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