《一种电容式Al_2O_3湿度传感器》PDF+DOC
作者:吴海霞,王占和,李印增
单位:四川固体电路研究所
出版:《微电子学》2003年第05期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFMINI2003050240
DOC编号:DOCMINI2003050249
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在单晶Si片上热生长一层SiO2薄膜,采用真空淀积的方法制备一层Al薄膜,然后利用铝阳极氧化的方法获得一层多孔Al2O3薄膜。设计制作了电容式Al2O3湿度传感器,测试结果表明,该器件具有较好的感湿特性和较宽的感湿范围。
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