《一种硅/二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器》PDF+DOC
作者:韩建强,朱长纯,刘君华,魏培永
单位:中国仪器仪表学会
出版:《仪器仪表学报》2003年第05期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYQXB2003050080
DOC编号:DOCYQXB2003050089
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利用 IC工艺和微机械加工技术制作了一种硅 /二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器。基于硅和二氧化硅两种材料热膨胀系数的差异 ,不同温度下梁的挠度不同 ,其形变可通过位于梁根部的压敏电桥检测。理论计算和实验结果表明 :压敏电桥输出电压与温度成线性关系。对器件结构进行了优化设计 ,实验探索了提高传感器测量重复性的时效处理工艺。该温度传感器可用于瞬态温度的测量。
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