作者：潘中印,张传兆,蒋立冬,曲学政 单位：中国石油集团东方地球物理勘探有限公司 出版：《物探装备》2003年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWTZB2003040000 DOC编号：DOCWTZB2003040009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微电子-机械系统(Microelectro-mechanical system)MEMS，或日微机电系统传感技术，已逐步应用于地球物理勘探领域。利用MEMS技术开发的新一代全数字地震传感器，其输出从直流到千赫兹范围内(如1kHz)，均呈现加速度检波器的特性，且具有极低的固有噪声和畸变、直接的数字输出、高的矢量保真度和良好的低频响应。文章着重介绍MEMS的基本加工原理，基本电原理以及MEMS芯片使用安装的注意事项。

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