作者：王钻开,陆德仁 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》2003年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ2003020100 DOC编号：DOCGNCQ2003020109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研究了硅微机械高g(g为重力加速度)加速度传感器的固有频率和阻尼特性对冲击响应的影响。传感器固有频率低，阻尼小时，冲击加速度的响应波形包含传感器共振波，造成测量干扰。采用有适当阻尼，固有频率高的双质量块结构高g加速度传感器，进行接近2万g加速度峰值的一系列落杆冲击实验，都未见共振响应。同样的传感器制作成欠阻尼，进行实验时，发现共振干扰。该实验所用的传感器芯片面积小，固有频率高，调整该结构的弹性梁厚度，可制作量程为2&#215；103g～2&#215；105g的加速度传感器。

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