作者：裴强,夏善红,龚超,白强,陈绍凤 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2003年第Z1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2003Z11150 DOC编号：DOCBDTQ2003Z11159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 报道了一种新型的基于MEMS技术的微型电场传感器。该传感器采用半导体微加工工艺制备 ，具有体积小、重量轻、功耗低等优点。阐述了传感器的工作原理 ，描述了设计方案 ，介绍了计算机模拟仿真结果

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