作者：刘晓明 单位：中国机械工程学会 出版：《中国机械工程》2003年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGJX2003050030 DOC编号：DOCZGJX2003050039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 研究测试 1 0 5g微阵列式加速度传感器的设计与制造。该传感器应用微加工技术制成 ，具有测试加速度值大、响应速度快等特点。应用非线性回归理论及正交试验分析方法 ，解决传感阵列的布阵设计 ；根据理论分析和试验研究 ，提出了 8个传感器位于芯片平面内同一圆周上 8等分处的布阵 ，给出了 8点图形传感阵列的设计版图 ；并制造出微阵列式加速度传感器的样品 ，经测试满足设计要求。

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