作者：谢琼,杨文,常爱民,康健 单位：中国电子学会;中国电子元件行业协会 出版：《电子元件与材料》2003年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZAL2003060040 DOC编号：DOCDZAL2003060049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 传统夹层聚酰亚胺电容式湿度传感器在亚胺化过程中感湿膜会因挥发物产生微孔，对这种传感器的成品率造成很大影响。为此，从元件的结构入手，制作Si-SiO2-PI结构的湿度传感器，对该种传感器的特性进行了测试，并与传统夹层式结构的样品进行了对比。研究表明，Si-SiO2-PI结构的湿度传感器在同等测试条件下，其电容值要比传统结构样品高25%，湿度灵敏度达到1.24 pF / %，具有重复性好和一致性高的优点，并且特别利于克服薄膜孔洞和厚度不均匀造成的短路现象，有利于批量生产。

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