《硅尖的制备及在传感器技术中的应用》PDF+DOC

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2. 《微机械惯性传感器》PDF+DOC 综述微机械惯性传感器的基本工作原理和典型的器件结构，展望它的未来发展趋势。...
3. 《微机械电子隧道传感器研究进展》PDF+DOC 说明了微机械电子隧道传感器的工作原理，分析了电子隧道传感器的优点。较系统地介绍了几种典型的微机械电子隧道传感器包括微机械电子隧道加速度计、红外探测器和磁强计等，并简要介绍了国际上在这个领域的研究机构...
4. 《力学中加速度及其测量方法的研究》PDF+DOC 讨论了加速度与受力、运动方向之间的关系。对几类测量加速度的微机械式加速度传感器进行了讨论，并针对每种类别分别选取一种典型的结构，分析了内部的工作原理。通过比较各类传感器的差异和联系，总结了一般加速度传感器的共同特征。...
5. 《集成加速表设计》PDF+DOC 以ＭＥＭＳ（微型机电系统）为基础的惯性仪表在汽车、计算机、导航等领域都将有广泛的应用。为了制作出低价格、小尺寸、中等精度的微型加速度计，有必要将接口电路和敏感元件集成在一个芯片上。本文介绍了一个体加工工艺的微机械敏感元件（包括一个差动电容结构）；分析了一种ＣＭＯＳ前置缓冲放大器和增量求和（Δ）原理......
6. 《原子力显微镜传感器的微机械加工技术的研究》PDF+DOC 分析了现有的ＡＦＭ力传感器的工艺特点及问题。在此基础上研究用ＫＯＨ溶液两步法Ｐ＋自停止腐蚀制作厚度精确可控的单晶硅悬臂梁；以ＳｉＯ２为掩模，ＳＦ６刻蚀硅，用ＲＩＥ与各向同性湿法化学腐蚀相结合使悬臂梁探针一次成形和用湿法腐蚀锐化探针，针尖半径约５０ｎｍ。制定了适于批量生产的ＡＦＭ力传感器加工工艺。...
7. 《利用阵列传感系统降低硅微机械加速度传感器的横向灵敏度》PDF+DOC 为消除带质量块的压阻式硅微加速度传感器的横向灵敏度，曾采取许多办法，但收效甚微，为此本文提出利用传感器阵列降低硅微加速度传感器的横向灵敏度的方法.以...
8. 《一种用于振动频率测量的光纤传感器》PDF+DOC 一种用于振动频率测量的光纤传感器Ｗ．Ｒ．ＰｈｉｌＰ等１、介绍振动分析广泛地应用于科学和工业，是一项重要的、经常使用的技术。标准振动传感器包括：应变仪、传声器、加速度计和光纤探测器等，每种都有它们具体的应用。光纤传感器可以用在需要高的分辨力的点测量，或..。...
9. 《硅微机械与光纤组合式列阵传感器的研制工艺》PDF+DOC 系统地介绍了一种新颖的硅微机械与光纤组合式列阵传感器的特殊制造工艺。在工艺实验的基础上对硅微悬臂梁列阵形成的光刻技术，各向异性腐蚀的机理与方法，梁膜厚度的精确控制，传感器的一体化等技术进行了较深入的研究，并对实验结果进行了详细地分析。这些工艺与常规的ＩＣ工艺兼容，为这类微传感器和执行器的研制打下了较......
10. 《高冲击压阻式加速度传感器》PDF+DOC 高冲击微机械压阻式加速度传感器是典型的微机械产品，具有体积小、量程大、频带宽、直流响应等特点，在需要高冲击信号测量的场合有重要应用价值。其基本工作原理是以半导体的压阻效应为基础，常用梁岛结构，...