作者：朱昊 ,秦明 ,黄庆安 单位：北京长城航空测控技术研究所 出版：《测控技术》2003年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFIKJS2003040010 DOC编号：DOCIKJS2003040019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 将传感器与电路集成在同一个芯片上具有体积小、噪声小等优点 ，因而收到了广泛的重视。本文介绍了硅热流量传感器的基本原理及发展状况 ，并针对电路和传感器集成的过程中出现的问题进行了探讨 ，对该类传感器的设计有一定的参考价值。

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