作者：黄俊钦,樊尚春,刘广玉 单位：中国航空工业集团公司;北京长城计量测试技术研究所 出版：《计测技术》2003年第01期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKJC2003010000 DOC编号：DOCHKJC2003010009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 近年来 ，微传感器受到国际传感技术界的广泛关注。本文介绍十多个微传感器 ，包括三轴加速度计 ，单、双轴加速度计片 ，表面微机械陀螺 (角速度传感器 ) ，微惯性导航系统 ，微磁通门传感器 ，磁阻传感器 ，纳米皮拉尼压力传感器 ，微科氏质量流量计 ，毫米波图像传感器 ，GPS手表 (1cm3) ，二氧化碳传感器和微 /超微角位移传感器。文中简要介绍它们的基本结构、敏感机理、特点等 ，从中可以看出微传感器已成为传感技术中有重要应用前景的组成部分

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