作者:杨冰,杨银堂,李跃进 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2003年第12期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2003120250 DOC编号:DOCCGQJ2003120259 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 锆钛酸铅压电材料(PZT)因具有优良的压电性能、热释电性能、铁电性能和介电性能而被广泛地应用在微电子机械系统(MEMS)中。基于微传感器,介绍了PZT薄膜,重点介绍了PZT薄膜在微传感器中的应用,并介绍了PZT薄膜微传感器的发展状况。

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