作者：李艳杰,高成臣,文彬 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2003年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2003030090 DOC编号：DOCCGQJ2003030099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 阐述了微型风速风向传感器的工作原理，结构设计及工艺研究，该传感器采用硅微机械加工技术制成微悬桥结构，将加热电阻器与感温电阻器排布在悬桥上，降低了功耗，提高了传感器灵敏度，实现低风速风场测量。

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