作者：张海涛,阎贵平 单位：中国电子科技集团公司第二研究所 出版：《电子工艺技术》2003年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZGY2003060090 DOC编号：DOCDZGY2003060099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 主要介绍了五种目前常见的基于MEMS技术的加速度传感器，从物理结构的角度对这几种传感器的测量原理进行了分析，不但着重介绍了已经较为成熟且形成产业化的硅微电容式、压阻式、热电耦式加速度传感器，而且对目前较为前沿的光波导式加速度传感器也进行了一些分析和介绍。

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