《高灵敏碳纳米管微型气体传感器》PDF+DOC
作者:孙再吉
单位:中国电子科技集团公司第五十五研究所
出版:《》
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDXX2003050760
DOC编号:DOCBDXX2003050769
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据报道,日前美国Rensselaer工艺学院的研究小组使用碳纳米管技术成功开发出了微型气体传感器。该传感器宽约20mm,长约20mm,厚约700μm,体积小且结构简单。首先用化学气相淀积法(CVD)在二氧化硅(SiO~2)基板上生成多层碳纳米管(MWCNT)。MWCNT的直径约25~30nm,长约30μm,排列间隔约为50nm。然后在MWCNT两端加上厚约180μm的绝缘玻板,最后再用铝膜覆盖起来,气体传感器即制作完成。
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