作者：张丹,冯勇建,郑志霞 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2003年第09期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2003090040 DOC编号：DOCYBJS2003090049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 高温测量是急需解决的测量问题之一。介绍一种将放大电路与信号传感器件分离的基于模型识别技术的高温微型电容式压力传感器。电阻电容信号滤波网络和信号的模型识别组成一个微型传感系统，在对滤波网络进行激励和模型识别后就可以得到变化的电容值。这种MEMS技术制作的硅玻璃键合的电容式压力传感器，可以在小于300℃环境下工作。此高温测量系统既满足高精度测量的要求，也避免了在高温环境中进行信号放大的难题。

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