作者：王亚珍,朱文坚 单位：上海交通大学 出版：《机械设计与研究》2004年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJSYY2004010000 DOC编号：DOCJSYY2004010009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 主要介绍了微机电系统 (MEMS) (MicroElectroMechanicalSystem)的发展概况、特点、加工技术及其发展趋势。

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