作者：顾磊,秦明,黄庆安 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2003年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2003060020 DOC编号：DOCYBJS2003060029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • CMOS集成湿度传感器是利用MEMS技术基于CMOS工艺的新型传感器，将传感器结构与接口电路集成在同一块片子上，具有体积小，价廉、可靠性高等优点，利于批量生产和系统集成。主要介绍了湿度传感器的工作原理和一些常用感湿介质，如多孔硅、聚酰亚胺、空气的感温特性，比较了几种流行的湿度传感器结构以及接口信号处理电路像开关电容电路、多谐振荡电路之间的优缺点。最后给出了微系统集成的概念，并对CMOS集成湿度传感器的应用前景进行了展望。

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