《金刚石膜压力传感器的优化设计(Ⅰ)》PDF+DOC
作者:杨保和,孙伟,孙以才,李燕,常明
单位:天津理工大学
出版:《光电子·激光》2003年第05期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGDZJ2003050010
DOC编号:DOCGDZJ2003050019
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探讨了一种新型金刚石膜压力传感器的优化设计方法,采用了计算机辅助设计,用数值计算中的有限元理论和ANSYS程序,模拟传感器承载金刚石膜的应力场分布,确定了掺硼金刚石压敏电阻条的尺寸、最佳位置和排列方式。结果证明,按该设计研制的金刚石膜压力传感器输出信号达到了较高灵敏度和较好的稳定性。
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