作者：马文卓,陈向东,丁星 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2016年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2016060190 DOC编号：DOCCGQJ2016060199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于平面螺旋电感和现场可编程门阵列(FPGA)技术，系统设计了一种以频率为输出的电感式微位移传感器，实现了电感式传感器的数字化输出与检测。系统主要由位移/电感转换模块、电感检测电路、差频模块、FPGA四部分组成，并在FPGA系统中搭建NIOSⅡ软核，对采集所得数据进行处理。实验证明：系统具有灵敏度高，温度稳定性好等特点，其测量范围为0~15 mm，在0~6 mm范围内，最大误差为0.03 mm，分辨率达到10μm。

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