作者：陈卫兵,宋跃 单位：四川固体电路研究所 出版：《微电子学》2003年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMINI2003050040 DOC编号：DOCMINI2003050049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 文章报道了采用NO直接氧化制备氮化氧化物作绝缘层，制备高灵敏度MISiC肖特基二极管式高温气体传感器的技术。采用NO直接氧化法，改善了器件的界面特性。实验结果显示，采用该方法制作的传感器具有高响应灵敏度和良好的响应重复性。

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