《MEMS传感器性能提高相关技术研究》PDF+DOC
作者:黄树森,李昕欣,王跃林,鲍敏杭
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2003年第01期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2003010020
DOC编号:DOCYBJS2003010029
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在分析MEMS(微电子机械系统 )传感器当前的发展现状、特点特别是在器件实用化和产品化进程中所面临的挑战后 ,提出了MEMS传感器技术实用化的关键———提高器件性能满足应用要求。根据研究经历举例说明改进传感器材料、结构、制作工艺和器件工作原理等具体措施对提高器件性能的作用
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