作者：崔玉亭 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2004年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2004070050 DOC编号：DOCBDTQ2004070059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 由于金刚石膜优异的力学、电学、热学及化学性质，使其成为MEMS中的微型传感器和微型结构的重要的首选材料。利用金刚石膜作为MEMS材料和各种微型机械的技术正在引起极大的兴趣。本文主要综述了金刚石MEMS器件的技术和应用。

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