《微电子机械系统中转速测量的光学方法》PDF+DOC
作者:姜益军,董海凤,何小元
单位:中国力学学会;中国科学技术大学
出版:《实验力学》2004年第01期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFSYLX2004010200
DOC编号:DOCSYLX2004010209
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利用显微测量技术和CCD图像传感器的线性积分成像特性,将数字图像处理技术与时间积分成像技术用于微电子机械系统(MEMS)中的转速测量。只需分别摄取被测物体上的标志点在静止状态下的时间积分图像和运动状态下的时间积分图像,即可测得物体在该段曝光时间内的转速。该方法对实验设备及实验条件要求较宽松。实验表明该方法对微系统中近似匀速转动时转速的测量是完全可行的,且具有较高的精度。
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