作者：闫兵,田延岭,张大卫 单位：北京机械工程学会;北京市机械工业局技术开发研究所 出版：《现代制造工程》2004年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXXGY2004120110 DOC编号：DOCXXGY2004120119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计一种用于平面磨削主动控制的新型数控微定位工作台。该工作台采用三个安装在底座上的压电陶瓷 (PZT)驱动器驱动动平台 ，三个圆形凹槽弹性铰链构成的弹性环节实现对压电陶瓷驱动器的预紧。为了提高定位精度采用三个高精度的电容式位移传感器用来测量动平台的输出 ，从而形成闭环控制系统。采用有限元分析软件ANSYS对微定位工作台的静、动态特性进行了数值分析。

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