作者：刘洪祥,李凌辉,申林,熊胜明,张云洞 单位：中国仪器仪表协会上海光学仪器研究所 出版：《光学仪器》2004年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXYQ2004020180 DOC编号：DOCGXYQ2004020189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 利用射频离子源RF—2001控制器USERINTERFACE接口具有遥控开关控制的功能，采用继电器控制输出及开关量隔离输入卡DAC—7325E，通过光电传感器对靶转动定位、行星转动系统的监控，在国产IBSD—1000型离子束溅射镀膜系统上，首次成功地实现了单、双离子束溅射沉积镀膜过程的自动化控制。控制软件采用VB编程，程序控制界面直观、易于操作。

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