《小型PZT压力探针制备工艺研究》PDF+DOC
作者:曾祥君,刘光聪,曾德平
单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所
出版:《压电与声光》2004年第03期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYDSG2004030100
DOC编号:DOCYDSG2004030109
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介绍了一种小型PZT压力探针的制备工艺全过程。文章提出该小型PZT压力探针的主要制作工艺难点及解决办法,给出了研制的初样及测试结果。
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