作者：张昭勇,秦明,张中平,黄庆安 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2003年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2003040020 DOC编号：DOCYQXB2003040029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了一种新型结构的二维风向和风速传感器 ，其芯片上集成有运算放大电路。它主要由位于绝缘薄膜上的热敏感元件和加热电阻所组成 ，其中热敏感元件由两组互相垂直且分别对称放置的铝 /多晶硅型热电堆所构成 ，加热电阻位于热敏感元件的中间。具体阐述了此传感器的工作原理、结构尺寸和制备工艺 ，最后给出了试制的芯片和传感器的测量结果

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