作者：翟成瑞,张文栋 单位：中国兵工学会 出版：《弹箭与制导学报》2003年第S6期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDJZD2003S60450 DOC编号：DOCDJZD2003S60459 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在动态测试领域高过载低量程测试一直是未能彻底解决的问题，MEMS 传感器为解决这一难题提供了有效的技术手段。文中论述了 MEMS 传感器原理，介绍了 MEMS 传感器在高过载低量程测量中的应用。

    📙 相关资料

    1. 《高过载低量程测试传感器的选择比较》PDF+DOC 在动态测试领域传感器高过载低量程一直是未能彻底解决的问题。本文在简单论述MEMS传感器原理的基础上，比较了MEMS传感器和传统工艺的压电传感器的特点，并进行了两类传感器在高过载低量程测量中的应用比较，得到了MEMS传感器能够较好完成高过载低量程测量要求的结论。...
    2. 《MEMS传感器在动态测试中的应用》PDF+DOC 本文在简单介绍 MEMS 传感器的基础上，重点介绍了有 MEMS 传感器构成的测量系统，及其在高过载低量程测量中的应用。...
    3. 《SOI特种高g值MEMS加速度计设计与分析》PDF+DOC 基于SOI技术，利用ICP体硅深加工，设计分析了一种新型平面内振动高g值压阻式加速度计。该加速度计包括X轴向与Y轴向单元，采用三梁-扇形质量块平板内振动结构。对称的布局方式，有效的消除了灵敏度的交叉干扰，提高了传感器的测量精度。论文建立了理论模型，并利用ANSYS软件对传感器进行模拟分析与验证，理论......
    4. 《有限元分析软件在封装结构变形影响中的应用》PDF+DOC 针对所见文献未给出封装结构变形对压阻式加速度计影响值，引入有限元分析软件Coventor Ware的Package模块进行定量分析。利用有限元分析软件Coventor Ware分析压阻式加速度计在不同温度下和受到不同方向冲击时，封装结构变形对其性能的影响。分析结果表明，温度和冲击作用于压阻式传感器封......
    5. 《压缩式压电传感器轴向灵敏度的幅值线性度问题》PDF+DOC 本文阐述了压缩式压电传感器的结构原理和幅值灵敏度的线性度问题。分析了反正向灵敏度的差异和“饱和现象”，以便在生产、鉴定与使用时加以注意...
    6. 《压缩式压电传感器轴向灵敏度的幅值线性度问题》PDF+DOC 阐述了压缩式压电传感器的结构原理和灵敏度的幅值线性度问题，分析了反正向灵敏度的差异和“饱和现象”，以便在生产、检定与使用时加以注意。...
    7. 《压缩式压电传感器轴向灵敏度的幅值线性度问题》PDF+DOC 阐述了压电传感器的结构原理，说明了压电传感器幅值灵敏度的线性问题，分析了正反向灵敏度的差异和“饱和现象”，以便在生产、检定和使用时加以注意。...
    8. 《压阻式硅微型加速度传感器的研制》PDF+DOC 利用微加工技术制作了压阻式硅微型加速度传感器，对制作的加速度传感器样品进行了动态测试，单臂梁结构的加速度传感器的灵敏度为1μV/gn，双臂梁结构加速度传感器的灵敏度为1.6μV/gn，结果与理论设计值基本吻合。...
    9. 《压缩式压电传感器轴向灵敏度的幅值线性度问题》PDF+DOC 本文简述了压电传感器的结构原理。说明了压电传感器幅值灵敏度的线性问题 ，分析了正反向灵敏度的差异和“饱和现象”，以便在生产、鉴定与使用时加以注意。...
    10. 《一种压阻式三轴高g值加速度传感器的冲击校准》PDF+DOC 介绍了基于Hopkinson杆技术的激光光栅干涉法这种冲击加速度计的绝对校准方法，给出了加速度传感器灵敏度系数的两种标定公式。使用Hopkinson杆在约12000gn的加速度水平下应用上述校准方法对一种三轴压阻式高冲击微型加速度传感器的灵敏度进行了冲击校准。通过对校准结果的分析比较了两种灵敏度标定......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。