《高量程MEMS加速度计灌封后的动态响应》PDF+DOC

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2. 《灌封技术对MEMS高g加速度传感器性能影响研究》PDF+DOC 针对恶劣环境下高频信号的干扰与由封装引起的结构失效，设计了一种MEMS高g加速度传感器，通过灌封实现机械滤波，保证封装的可靠性。根据传感器封装工艺，利用ANSYS软件建立有限元模型，仿真分析了灌封技术对传感器结构和性能。结果表明：灌封技术可提高传感器的高过载能力和输出灵敏度，灌封弹性模量相对较大、密......
3. 《MEMS传感器在高过载低量程测试中的应用》PDF+DOC 在动态测试领域高过载低量程测试一直是未能彻底解决的问题，MEMS 传感器为解决这一难题提供了有效的技术手段。文中论述了 MEMS 传感器原理，介绍了 MEMS 传感器在高过载低量程测量中的应用。...
4. 《基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的设计》PDF+DOC 给出了一种基于MEMS技术制作的微电容式加速度传感器的结构及工艺。为了准确地把握这种微电容式加速度传感器的力学和电学特性，仔细地建立了它的力学模型。在此基础上，详细分析了它的动态特性———模态。并用有限元的方法分析和计算了微电容式加速度传感器的加速度与电容信号的非线性输入输出关系，并结合实测参数验证......
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6. 《SOI特种高g值MEMS加速度计设计与分析》PDF+DOC 基于SOI技术，利用ICP体硅深加工，设计分析了一种新型平面内振动高g值压阻式加速度计。该加速度计包括X轴向与Y轴向单元，采用三梁-扇形质量块平板内振动结构。对称的布局方式，有效的消除了灵敏度的交叉干扰，提高了传感器的测量精度。论文建立了理论模型，并利用ANSYS软件对传感器进行模拟分析与验证，理论......
7. 《有限元分析软件在封装结构变形影响中的应用》PDF+DOC 针对所见文献未给出封装结构变形对压阻式加速度计影响值，引入有限元分析软件Coventor Ware的Package模块进行定量分析。利用有限元分析软件Coventor Ware分析压阻式加速度计在不同温度下和受到不同方向冲击时，封装结构变形对其性能的影响。分析结果表明，温度和冲击作用于压阻式传感器封......
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10. 《封装对MEMS高G值传感器性能的影响》PDF+DOC 以一种新型高G值MEMS加速度传感器为例进行有限元模拟，将实际封装简化为一种最简单的封装结构，进行频域分析和时域分析，讨论粘结传感器芯片和封装基体的封接材料对其输出信号的影响。频域分析表明，封接材料的杨氏模量对封装后加速度传感器整体的振动模态的影响很大，封接胶的杨氏模量很小时会致使加速度传感器的信号......