《基于动态阿贝原则的高精度激光深孔孔径测量》PDF+DOC
作者：叶树亮,谭久彬
单位：天津理工大学
出版：《光电子·激光》2004年第08期
页数：4页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFGDZJ2004080210
DOC编号：DOCGDZJ2004080219
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基于动态阿贝原则提出了激光深孔孔径测量原理，设计了一种利用双频激光干涉技术的深孔孔径超精密测量系统。该系统将双频激光干涉测长技术与超精密双向电容位移传感器瞄准方法有机结合在一起，通过电容位移传感瞄准、测长光路和深度位置监测光路的合理设计，保证了在深孔任意截面对孔径的测量都符合阿贝原则。分别用Φ5～Φ16mm6种环规对系统进行验证。实验表明，该系统可实现深孔任意截面孔径的高精度测量，测量分辨力达10nm，不确定度达0.1μm。
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