作者：陈旻,廖波,孔德文 单位：四川固体电路研究所 出版：《微电子学》2004年第01期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMINI2004010020 DOC编号：DOCMINI2004010029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 对基于MEMS微加工工艺的微致冷器件和微发电器件的最新研究情况进行了综述，对各种结构形式和研究现状进行了综合比较。从微热电器件的优化设计方法、微机械加工工艺等方面，分析了提高微热电器件性能的途径。

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