作者：王学军 单位：中国电子科技集团第四十五研究所 出版：《电子工业专用设备》2004年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDGZS2004120160 DOC编号：DOCDGZS2004120169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 探讨了硅片自动定位方法及软件控制原理，并提出了一种硅片自动定位技术的实现方法及软件控制方法，实现对硅片平边和V型槽及硅片中心的准确定位。

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