作者：黄萍,孙继萍 单位：山东师范大学 出版：《山东师范大学学报(自然科学版)》2004年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSDZK2004020150 DOC编号：DOCSDZK2004020159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机电系统技术 (MEMS)是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的 .其微型化、集成化、批量生产和多学科交叉等优良特性将对人类社会生活带来巨大的进步 ，是电子领域的新宠 。

    📙 相关资料

    1. 《微机电系统(MEMS)研究现状及展望》PDF+DOC 主要综述了微机电系统 (MEMS)领域所涉及的微材料、微机械学、微细加工技术、微元器件、封装等基础理论和关键技术的研究现状 ，分析了存在问题 ，指出了今后的研究重点 ，并对其未来发展作了展望 ，提出了相应的发展策略。...
    2. 《2015全国传感器与微系统(MEMS)技术应用大会暨2015中国传感器与微系统(MEMS)技术工程师年会》PDF+DOC 微系统技术是一门多学科高度交叉的前沿学科领域，其利用先进的微细加工技术将微电子、微机械和微光学集成在一起来完成常规的和特殊的功能，可优质高产低耗，大大地提高系统的可靠性和智能化功能，已经成为电子领域十分活跃的发展方向之一，它将对现代电子技术产生十分重要的影响。该技术无论在电子产品，还是在系统装备等很......
    3. 《微电子机械系统的研究现状》PDF+DOC 在同一介质上，应用集成电路微细加工技术制作出尺寸在微米范畴的微机械部件，微传感器，微传动装置并将它们与微电子线路在一起形成高性能的闭环控制的微电子机械系统是一门新兴的边缘学科，也开辟了一个全新的工业加工领域，本文简述了微电子机械系统的研究现状及其基础技术。...
    4. 《微机电系统(MEMS)技术及其应用》PDF+DOC 微机电系统是一个新兴的技术领域.阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势。...
    5. 《MEMS市场展示美好》PDF+DOC MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)微电子机械系统，出现于19世纪，从上世纪60年代起经过美国科技人员的不断开发改进，并于1989年首先提出了“微电子技术应用于电机系统”的概念。由此，MEMS成为微机械等领域的学术用语，MEMS技术也成为热门研究课题。MEMS......
    6. 《微机电系统(MEMS)的应用》PDF+DOC 简要介绍微机电系统在各个领域的应用。...
    7. 《MEMS的微封装技术初探》PDF+DOC 扼要介绍微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的发展及市场，包括微陀螺仪、微传感器、微加速度计、微电动机等几种代表性产品的封装技术，目前存在问题和今后的发展方向，并发表了笔者的见解...
    8. 《MEMS研究与发展前景》PDF+DOC 在阐述ＭＥＭＳ技术的基本概念、意义、传感ＭＥＭＳ的基本模型和国内外研究状况的基础上，重点阐述 ＭＥＭＳ技术的加工工艺及在未来的发展景前景．...
    9. 《MEMS矢量水听器定位误差分析与测试》PDF+DOC 针对一种纤毛式微机械电子(MEMS)矢量水听器的工作原理进行分析，通过分析得出该矢量微传感器的定位误差主要来源于纤毛柱体的偏差。通过有限元仿真分析得出纤毛柱体的偏差对矢量水听器在两个方向上的灵敏度有较大影响，理论计算出在纤毛偏移下2个轴向灵敏度度误差为9.74%。对水听器结构进行轴向灵敏度测试，测出......
    10. 《微机电系统的研究与应用》PDF+DOC 概述了微机电系统的结构和特点，并介绍了MEMS传统加工工艺以及应用领域。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。