作者：金铃 单位：南京电子技术研究所 出版：《现代雷达》2004年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDLD2004120080 DOC编号：DOCXDLD2004120089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 首先阐述了微电子机械系统 (MEMS)技术的基本概念、特点及概况 ；其次 ，介绍了MEMS技术的分类及在各领域的应用产品 ；最后 ，重点介绍了RFMEMS技术 ，包括某些RFMEMS器件的典型结构及性能指标

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