《基于时序驱动的静态光场式时栅传感方法研究(英文)》PDF+DOC
作者:付敏,张兴红
单位:中国机械工程学会;广州机械科学研究院
出版:《机床与液压》2015年第24期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJCYY2015240150
DOC编号:DOCJCYY2015240159
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提出了一种用时序驱动光敏元构成匀速扫描坐标系的方法,实现了将被测物体空间位移的测量转换为对时间差的测量。根据时栅相对运动双坐标系的转换原理,将线阵CCD的光敏元视为匀速扫描坐标系,两个空间上并排,时序上互相错开的线阵CCD为静止坐标系,则同一被测对象在两个CCD上输出电信号的时间差的变化量与扫描速度的乘积,即为所测位移的大小,并可以判断位移的方向。用雷尼绍激光干涉仪对所研制的CCD时栅传感器进行校准,在有效测量范围(600.05 mm)内,经过修正后的测量误差控制在±;2μm以内,实现了在光学领域应用时间测量空间的思想。
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