《冲电气的首块MEMS芯片亮相》PDF+DOC
作者:陈裕权
单位:中国电子科技集团公司第五十五研究所
出版:《》
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDXX2004060280
DOC编号:DOCBDXX2004060289
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《冲电气的首块MEMS芯片亮相》PDF+DOC 刘广荣
《冲电气的首块MEMS芯片亮相》PDF+DOC2005年第02期
《基于ADXL345三轴加速度计的倾角测量系统》PDF+DOC2015年第19期 胡代弟,王小丽
《MEMS加速度计的振动校正》PDF+DOC2017年第07期 Long Pham,Anthony DeSimone
《单片集成三轴加速度传感器》PDF+DOC2012年第12期 田雷,刘智辉,王永刚
《压缩式压电传感器轴向灵敏度的幅值线性度问题》PDF+DOC1999年第04期 于治会
《压缩式压电传感器轴向灵敏度的幅值线性度问题》PDF+DOC1999年第02期 于治会
《石英挠性伺服加速度计的原理与应用》PDF+DOC1996年第10期 王武立
《MEMS传感器在高过载低量程测试中的应用》PDF+DOC2003年第S6期 翟成瑞,张文栋
《一种硅微多传感器集成研究》PDF+DOC2008年第03期 赵玉龙,徐敬波,蒋庄德,孙剑
日本冲电气工业公司(Oki)声称制造出世界上最薄的超小型三轴加速度计组件。这只1.4mm厚的MEMS芯片传感器与控制IC集成,形成一个封装器件。该加速度计组件除能测量三轴(X、Y、Z)加速度(±;3g)外,还可测量倾角和冲撞力,并能测量倾斜度和振动度,其信号输出为数字式。
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