作者：赵运才,李克安 单位：湖南理工学院 出版：《湖南理工学院学报(自然科学版)》2004年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYYSF2004040250 DOC编号：DOCYYSF2004040259 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机电系统(MEMS)的应用》PDF+DOC1999年第01期 徐毓龙,徐玉成 《跨世纪的新技术——微机电系统(MEMS)》PDF+DOC1999年第04期 张兴,郝一龙,李志宏,王阳元 《微机电系统的研究与应用》PDF+DOC2005年第03期 李素云,马修水,程蒲,李光 《微机电系统的进展分析与研究》PDF+DOC2002年第01期 刘晓斌 《微机电系统(MEMS)技术及其应用》PDF+DOC2002年第06期 魏强 《微机械制造技术及应用》PDF+DOC2002年第09期 于云霞,贾宝贤,陆富荣 《微机电系统的发展与应用》PDF+DOC2015年第19期 冯帆 《微机电系统的研究内容与发展现状》PDF+DOC2001年第06期 李国平,陈子辰 《电子鼻检测爆炸物的研究进展》PDF+DOC2005年第07期 杨柳,郭成海,赵纪萍,潘勇 《关于准一维ZnSe纳米结构的合成与应用》PDF+DOC2012年第08期 王志,李方泽

    • 微机电系统是一个新型的多学科交叉的研究领域 ，具有广阔的应用前景。在概述微机电系统发展状况的基础上 ，归结分析了微机电系统在组成结构及特征、材料特性及加工工艺、力学行为等方面异于宏观机械的一些新特征 ，并对微机电系统的主要应用领域进行了讨论。

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